HEIDENHAIN 位置量測系統

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開放型光學尺

直線量測-位置編碼器
開放型光學尺

開放式光學尺屬於無接觸式之光學尺，因為無外殼的保護所以一般都應用於高潔淨度之空間，無接觸式所以具有高移動性的特點，為用於半導體設備與量測設備的理想選擇。

  • LIC系列光學尺具有絕對式訊號，定位精度為 ±0.08μ
  • LIP系列光學尺主要應用於超高精度之量測，定位精度為 ±0.02μ~ ±0.001μ
  • LIF系列光學尺主要應用於高精度之量測，定位精度為 ±0.04μ
  • LIDA系列光學尺為一般應用之量測，定位精度為 ±0.2μ~ ±2μ
直線量測-位置編碼器
角度量測-位置編碼器
量測位置擷取與顯示